等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固、液、氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。VPC100等離子表面處理系統(tǒng)就是通過利用等離子體的活性組分的性質(zhì)來處理塑膠工件，金屬基工件，陶瓷、玻璃等工件表面，從而實現(xiàn)清潔、改性等目的。
產(chǎn)品特點
不銹鋼腔體，具有良好的耐用性
電極板上下可調(diào)，適應各種大小的樣品
觸摸按鍵，液晶顯示屏+雙浮子流量計精準控制，經(jīng)濟實用
結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，密封性好
一鍵啟停，人性化設計，簡單易學
采用13.56MH射頻電壓，完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能
無材料二次污染和環(huán)境污染，效率大大提高
應用領域
半導體行業(yè)
晶圓/基板的清洗，引框線表面活化，
芯片和基板間改變表面活性以減少分層。
橡膠、塑料
通過表面處理，在材料表面形成一個活性層，
這樣橡膠、塑料就能夠進行印刷、粘合、涂覆等操作。
汽車行業(yè)
等離子處理后，不僅可去除表面的難揮發(fā)性油污，
而且可大大提高骨架表面活性。如儀表板、控制面板前處理。
電子行業(yè)
使手機外殼、耳機聽筒、硬盤塑料件等
增加其表面活性，提高粘接效果。
醫(yī)療行業(yè)
等離子清洗機處理后的導尿管表面變滑，表面接觸角減小，
表面無有害基團產(chǎn)生。如靜脈輸液器針座的表面處理。
技術(shù)指標
型號 |
VPC100M |
VPC100A |
VPC30M |
VPC30A |
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腔體材質(zhì) |
316不銹鋼 |
6061鋁腔 |
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容積 |
10L |
2.4L |
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電極板 |
平板水浴電極 |
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電極 |
專用鋁電極，上下間距可調(diào) |
專業(yè)鋁電極，間距固定 |
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單次處理時間 |
工藝不同，處理時間不同，表面活化改性5~10min內(nèi) |
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工作真空度 |
20~60Pa |
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真空泵極限壓力 |
0.5Pa（空載測試） |
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抽真空時間 |
≤ 40s |
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破真空時間 |
≤ 20s |
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等離子發(fā)生器 |
采用13.56MHz射頻電源，功率0~300W可調(diào)， 射頻電源和阻抗器模塊化設計 |
采用13.56MHz射頻電源，功率0~150W可調(diào)， 射頻電源和阻抗器模塊化設計 |
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供氣方式 |
電磁閥式 |
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流量計控制 |
雙浮子流量計 |
兩路MFC質(zhì)量流量控制器 |
單浮子流量計 |
一路MFC質(zhì)量流量控制器 |
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流量計調(diào)節(jié)范圍 |
0~300ml/min(可選) |
0~500ml/min(可選) |
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流量計精度 |
4% |
1% |
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操作方式 |
人工取放工件，一鍵啟動自動控制 |
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